1. Nozik mexanik qismlarni qayta ishlash
Nozik qismlarni qayta ishlash aniqligi nanometrlarda va nihoyat atom birliklarida (atom panjarasining oralig'i 0,1 ～ 0,2 nanometr) bo'lsa, ultra nozik qismlarni kesish usullari endi moslashtirilmaydi. Maxsus nozik qismlarni qayta ishlash usullariga, ya'ni kimyoviy energiyani qo'llashga ishonish kerak. , Elektrokimyoviy energiya, issiqlik energiyasi yoki elektr energiyasi va boshqalar bu energiyani atomlar orasidagi bog'lanish energiyasidan ustun qiladi, shuning uchun ishlov berish qismidagi mahalliy atomlar orasidagi yopishqoqlik, bog'lanish yoki panjara deformatsiyasini yo'q qiladi. ultra nozik ishlov berishning maqsadi. Qayta ishlashning bu turiga mexanik-kimyoviy polishing, ion püskürtme va ion implantasyonu, elektron nurlari ta'sir qilish, lazer nurlarini qayta ishlash, metall bug'lanishi va molekulyar nur epitaksi kiradi.
2. Nozik mexanik qismlarni kesish
Asosan nozik burilish, oynani silliqlash va maydalash kiradi. Mikro torna aniq torli bitta kristalli olmosli burama asbob bilan nozik torna ustida amalga oshiriladi. Kesish qalinligi atigi 1 mikronni tashkil qiladi. U ko'pincha rangli metall materiallarni, masalan, sferik yuzalar, asferik urush yuzasi oynalari va boshqa yuqori aniqlikdagi qismlarni yuqori porloq yuzalarga ishlov berish uchun ishlatiladi. . Masalan, yadro sintezini o'rnatish uchun diametri 800 mm bo'lgan asferik oynaning maksimal aniqligi 0,1 mikron va sirt pürüzlülüğü Rz 0,05 mikron.
